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自己换算 无尘室洁净度分级
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2012-09-07   人气:   标签:
      半导体工业是极精密的工业,当我们把计算机拆开之后,在电路板上一颗颗小小的IC都有数百万颗甚至数千万颗的晶体管。为了让这些极小的晶体管妥善的工作,制造的过程必须在无尘室内进行,集成电路制造的工厂动辄需要数十亿、数百亿的投资,多因为需要一个无尘室。  

   所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路技术的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁静度的需求,在工业上即使粒子之尺寸小于1微米,也可能阻碍产品的运作或降低其寿命。  

   由于奈米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断的增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒地落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。  

   依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5?m,例如,1级、10级、100级无尘室最大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5?m,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2?m(尘粒尺寸在0.2?m或更大下,密度不大于75颗/立方英?),1级在0.1?m(尘粒尺寸在0.1?m或更大下,密度不大于35颗/立方英)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。  

   为保持无尘室的洁净度,进出的人员有一定的穿著规定;10000与100000级,必须穿著长袍无尘衣、无尘鞋、带帽子与面罩;1000级(含)以上,需穿著特殊的洁净连身衣、无尘鞋将全身裹住,并带上手套和面罩,下表为无尘室清洁度的 

   定义:  
   尘粒数/立方英  
   级数 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.4μm 0.5μm  
      1 35 7.5 3 1 N/A  
      10 350 75 30 10 N/A  
      100 N/A 750 300 100 N/A  
      1000 N/A N/A N/A 1000 7  
      10000 N/A N/A N/A 10000 70  
      100000 N/A N/A N/A 100000 700
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