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Fed-Std-209E 无尘室洁净度定义
资料来源:广州启绿空气净化设备有限公司   日期:2012-09-18   人气:   标签:209E 无尘室 洁净度定义
     209E ,无尘室,洁净度定义--Fed-Std-209E 无尘室洁净度定义,Class Name Class Limits 0.1μm 0.2μm0.3μm 0.5μm 5μ Volume Units209E 的公制和英制两套标准,虽然有公式做互换,但是仍究很难一眼看出其相关性。两制放同一表,徒然造成混淆

Class Name
Class Limits
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
5μm
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
Volume Units
SI
U.S.
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
(m3)
(ft3)
 
M 1
350
9.91
75.7
2.14
30.9
0.875
10.0
0.283
-
-
 
M 1.5
1
1,240
35.0
265
7.50
106
3.00
35.3
1.00
-
-
 
M 2
3,500
99.1
757
21.4
309
8.75
100
2.83
-
-
 
M 2.5
10
12,400
350
2,650
75.0
1,060
30.0
353
10.0
-
-
 
M 3
35,000
991
7,570
214
3,090
87.5
1,000
28.3
-
-
 
M 3.5
100
-
-
26,500
750
10,600
300
3,530
100
-
-
 
M 4
-
-
75,700
2140
30,900
875
10,000
283
-
-
 
M 4.5
1,000
-
-
-
-
-
-
35,300
1,000
247
7.00
 
M 5
-
-
-
-
-
-
100,000
2,830
618
17.5
 
M 5.5
10,000
-
-
-
-
-
-
353,000
10,000
2,470
70.0
 
M 6
-
-
-
-
-
-
1,000,000
28,300
6,180
175
 
M 6.5
100,000
-
-
-
-
-
-
3,530,000
100,000
24,700
700
 
M 7
-
-
-
-
-
-
10,000,000
283,000
61,800
1,750
 

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